新聞動(dòng)態(tài)
推薦新聞
德晟科技參加納米技術(shù)領(lǐng)域新年第一會(huì)錦集2023-03-09
MEMS傳感器在各大領(lǐng)域中應(yīng)用2022-05-23
-
MEMS傳感器未來(lái)發(fā)展趨勢(shì)分析
2022-05-19微機(jī)電系統(tǒng)（Microelectromechanical Systems，簡(jiǎn)稱 MEMS）是將微電子技術(shù)與精密機(jī)械技術(shù)結(jié)合發(fā)展出來(lái)的工程技術(shù)，尺寸在 1 微米到 100 微米量級(jí)，涵蓋機(jī)械（移動(dòng)、旋轉(zhuǎn)）、光學(xué)、電子（開關(guān)、計(jì)算）、熱學(xué)、生物等功能結(jié)構(gòu)，主要分為傳感器、致動(dòng)器、三維結(jié)構(gòu)器件等三大類。與 MEMS 類似，
more
