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德晟科技參加納米技術(shù)領(lǐng)域新年第一會(huì)錦集2023-03-09
MEMS傳感器在各大領(lǐng)域中應(yīng)用2022-05-23
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MEMS傳感器產(chǎn)業(yè)鏈解析
2022-05-19MEMS的全稱是微型電子機(jī)械系統(tǒng)(Micro Electromechanical System)，利用半導(dǎo)體制造工藝和材料，將傳感器、執(zhí)行器、機(jī)械機(jī)構(gòu)、信號(hào)處理和控制電路等集成于一體的微型器件或系統(tǒng)，其內(nèi)部結(jié)構(gòu)一般在微米甚至納米量級(jí)。MEMS主要包含兩個(gè)部分：傳感器和執(zhí)行器。
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MEMS傳感器未來發(fā)展趨勢(shì)分析
2022-05-19微機(jī)電系統(tǒng)（Microelectromechanical Systems，簡(jiǎn)稱 MEMS）是將微電子技術(shù)與精密機(jī)械技術(shù)結(jié)合發(fā)展出來的工程技術(shù)，尺寸在 1 微米到 100 微米量級(jí)，涵蓋機(jī)械（移動(dòng)、旋轉(zhuǎn)）、光學(xué)、電子（開關(guān)、計(jì)算）、熱學(xué)、生物等功能結(jié)構(gòu)，主要分為傳感器、致動(dòng)器、三維結(jié)構(gòu)器件等三大類。與 MEMS 類似，
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