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MEMS傳感器在各大領(lǐng)域中應(yīng)用2022-05-23
MEMS在工業(yè)機(jī)器人中的應(yīng)用 |
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| MEMS傳感器在工業(yè)領(lǐng)域應(yīng)用非常廣泛，工業(yè)生產(chǎn)各個環(huán)節(jié)都需要MEMS傳感器進(jìn)行監(jiān)測，并把數(shù)據(jù)反饋給控制中心，以便對出現(xiàn)異常節(jié)點(diǎn)進(jìn)行及時干預(yù)，保證工業(yè)生產(chǎn)正常進(jìn)行�？梢哉f，MEMS傳感器讓工業(yè)自動化智能設(shè)備有了感知能力，在自動化生產(chǎn)過程中使用各種傳感器監(jiān)視和控制各個參數(shù)，使設(shè)備工作在正常狀態(tài)或最佳狀態(tài)，并使產(chǎn)品達(dá)到最好的質(zhì)量，并讓工作人員遠(yuǎn)離生產(chǎn)線和設(shè)備，保證人身安全和健康。 工業(yè)類MEMS傳感器是根據(jù)材料的物理、化學(xué)、生物學(xué)的特性和規(guī)律設(shè)計(jì)而成的器件，種類繁多，分類方法也比較多。以下，就是智芯傳感小編為大家梳理一下工業(yè)類MEMS傳感器類型： 按用途分類，可分為壓力、位移、速度、溫度、濕度等傳感器； 按測量原理分類，可分為物理型傳感器、化學(xué)型傳感器和生物型傳感器。如電壓式、熱電式、電阻式、光電式、電感式等； 按半導(dǎo)體有關(guān)理論分類，可分為半導(dǎo)體力敏、熱敏、光敏、氣敏等固態(tài)傳感器； 按制造工藝分類，可分為集成傳感器、薄膜傳感器、厚薄傳感器和陶瓷傳感器； 按輸出量分類，可分為模擬式和數(shù)字式傳感器。模擬式傳感器的輸出信號為模擬量；數(shù)字式傳感器的輸出信號為數(shù)字量，便于與計(jì)算機(jī)連用，且抗干擾性強(qiáng)； 按構(gòu)成分類，可分為基本型傳感器、組合型傳感器和應(yīng)用型傳感器； 按作用形式分類，可分為主動型傳感器、被動型傳感器。
MEMS在工業(yè)機(jī)器人中的應(yīng)用
工業(yè)領(lǐng)域的MEMS傳感器，常見的有加速度計(jì)、陀螺儀、慣性測量組合（IMU）、振蕩器、壓力傳感器等。近年來紅外探測器也向工業(yè)市場進(jìn)軍，氣體/化學(xué)傳感器則有望受空氣質(zhì)量檢測和安全需求驅(qū)動高速增長。加速度計(jì)可以用來監(jiān)測工業(yè)設(shè)備的振動和旋轉(zhuǎn)速度，高精度的MEMS加速度計(jì)和陀螺儀可以為工業(yè)機(jī)器人的導(dǎo)航和轉(zhuǎn)動提供精確的位置信息。MEMS傳感器典型應(yīng)用 由于起步晚基礎(chǔ)弱，我國工業(yè)類MEMS傳感器和其他關(guān)鍵技術(shù)一樣，核心元器件技術(shù)嚴(yán)重缺失、創(chuàng)新能力弱，國內(nèi)工業(yè)傳感器廠商主要在低端市場混戰(zhàn)廝殺，近年來逐步向中高端市場發(fā)力，但是高端市場仍被美國、德國、日本等外資企業(yè)長期占據(jù)。目前，隨著工業(yè)互聯(lián)網(wǎng)、大數(shù)據(jù)、物聯(lián)網(wǎng)等新一代信息技術(shù)的快速發(fā)展，我國高度重視MEMS傳感器等電子元器件產(chǎn)業(yè)發(fā)展，MEMS傳感器將在智慧工業(yè)時代大有可為。特別是在2021年1月29日，工信部發(fā)布了《基礎(chǔ)電子元器件產(chǎn)業(yè)發(fā)展行動計(jì)劃（2021-2023 年）》，提出要做強(qiáng)傳感類等元器件產(chǎn)業(yè)，夯實(shí)信息技術(shù)產(chǎn)業(yè)基礎(chǔ)，這對加快電子元器件及配套材料和設(shè)備儀器等基礎(chǔ)電子產(chǎn)業(yè)發(fā)展，特別是對工業(yè)類MEMS傳感器向小型化、集成化、網(wǎng)絡(luò)化、智能化等方面發(fā)展具有重要意義。 |
